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去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子“定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。目前去离子水应用非常广泛。在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。
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